氮化鋁陶瓷加工

燒結是氮化鋁多層基板產(chǎn)品非常重要的工藝，在這個(gè)過(guò)程中產(chǎn)品由生瓷通過(guò)高溫收縮成熟瓷，對于尺寸精度而言這個(gè)階段會(huì )影響產(chǎn)品的平整性及絕對尺寸，燒結曲線(xiàn)與燒結參數的穩定性是關(guān)鍵因素［９］。 在成瓷階段，由于多層產(chǎn)品本身的結構復雜存在多重的不對稱(chēng)性，在收縮的過(guò)程中各個(gè)方向所受應力不盡相同；同時(shí)，金屬化與陶瓷的收縮溫度段及收縮率也不相同，產(chǎn)品內部金屬化也分布各異，造成各個(gè)區域應力分布不同。